1935. година – 17. Априла Уредбом о техничким факултетима Универзитета у Београду, Загребу и Љубљани установљен је Завод за физику Техничког факултета у циљу обједињења експерименталне наставе из физике. Студенти Техничког факултета у Београду слушали су физику до пред Други светски рат на тадашњем Филозофском факултету. Настава физике тада није садржала лабораторијске вежбе.
Пред Други светски рат предузета је иницијатива да се настава физике организује на тадашњем Техничком факултету. У исто време кренуло се са изградњом нове зграде за машинске лабораторије Машинско-електротехничког одсека Техничког факултета. Због тога је у план ове зграде додат и један спрат за потребе физике. Зграда је била завршена непосредно пред рат. Подигнута је на углу данашњих улица Kраљице Марије и Рузвелтове, где се и данас налази. На првом спрату ове зграде који је био намењен физици почело је формирање лабораторија за физику. Тај одељак је тада назван Завод за физику.
На самом почетку формирања Завода избио је Други светски рат. Након окупације ова зграда је била резервисана за немачку болницу. Нешто од апарата и инструмената који су били донети у Завод су до краја рата пропали.
1945. година – Средином маја Завод је наставио рад у саставу Машинског факултета.
После ослобођења отпочело је изнова формирање лабораторија у саставу Техничког факултета. Од инструмената није остало готово ништа, а од просторија намењених Заводу остао је на располагању један део који је до тада био коришћен. У послератном периоду се није могла набавити ни опрема ни инструменти за рад, како због послератне оскудице, тако и због мањка средстава намењених научном раду. Број студената је био увећан због прекида током рата, а број наставног особља је био значајно умањен. Иако је ова ситуација била оптерећујућа за рад како наставног тако и ненаставног особља, Завод за физику је сопственим снагама опремио лабораторије за експерименталне вежбе, што је био веома обиман посао, а уједно и најзначајнији за формирање самог Завода.
Према околностима које су тада владале, једини пут успешног формирања заводских вежбаоница за велики број студената био је организовање сопствене радионице и ангажовање наставног особља за пројектовање и извођење радова. На тај начин су се поступно формирале вежбаонице и увођене лабораторијске вежбе за све већи број студената. Паралелно са тим је у скромним размерама отпочело и формирање лабораторија за научни рад и стручно усавршавање наставног особља Завода.
1948. година – Завод за физику прелази под надлежност Ректората Техничке велике школе која је основана као самостална установа. У саставу Техничке велике школе били су следећи факултети: Архитектонски, Грађевински, Електротехнички, Рударски и Технолошки. Вежбе за физику за ове факултете су обједињене у Заводу за физику.
Завод се даље развијао као интерфакултетска установа, а наставно и техничко особље Завода било је раздељено на поједине техничке факултете. У том духу се приступило поступном дефинисању делатности Завода.
Основни задаци тадашњег Завода су: концентрација експерименталне наставе физике свих техничких факултета у Београду; постизање оптималних и економичних услова за обезбеђивање и усавршавање наставе физике; праћење развоја савремене физике; обезбеђивање услова за стручно и научно усавршавање особља; обезбеђивање сарадње са осталим техничким школама и институцијама.
1956. година – Долази до расформирања Техничке велике школе, те је Завод био припојен Машинском факултету са истим задацима.
1959. година – Због тадашњег статуса Завода јављале су се знатне потешкоће, па је 1959. године Завод прешао под надлежност Београдског универзитета.
Одлуком Савета Београдског Универзитета бр. 1056/2 од 14.03.1959. године, на основу члана 121. тачка 6. Закона о Универзитетима Завод постаје међуфакултетска установа са непромењеним задацима. Организација и задаци Завода су били детаљно одређени Правилником Завода овереним од стране Универзитетског савета број 930/2 од 09.04.1960. године.
Званични назив Завода од тада је: Завод за физику техничких факултета Универзитета у Београду.
1966. година – Да би се статус Завода усагласио са тада важећим законима, као и да би се то извршило на начин који највише одговара заинтересованим факултетима, ректор Универзитета је 11.01.1966. године сазвао састанак декана заинтересованих факултета, и то: Грађевинског, Електротехничког, Машинског, Рударско-геолошког, Саобраћајног и Технолошко-металуршког факултета. На овом скупу је одлучено да се Заводу додели статус самосталне међуфакултетске установе. Реоснивање Завода у духу ове одлуке поверено је Електротехничком факултетуСавет техничких факултета Универзитета у Београду, и то: Савет Грађевинског факултета, на седници одржаној 31. марта 1966. године, Савет Електротехничког факултета, на седници одржаној 5. априла 1966. године, Савет Машинског факултета, на седници одржаној 24. јуна 1966. године, Савет Рударско-геолошког факултета, на седници одржаној 5. априла 1966. године, Савет Саобраћајног факутета, на седници одржаној 24. јуна 1966. године, и Савет Технолошко-металуршког факултета, на седници одржаној 24. марта 1966. године, донео је ОДЛУKУ о оснивању Завода за физику теничких факултета Универзитета у Београду као самосталне и самоуправне установе са својством правног лица са седиштем у Београду.
Завод је започео свој рад на основу одлуке Савета Електротехничког факултета бр. 1177 од 23.09.1966. године, преузевши сва средства, права и обавезе истоименог Завода који је основала Универзитетска управа 1959. године /K 443 – 23.09.1966/.
У складу са изменама и допунама Закона о установама, Завод је постао установа од посебног друштвеног значаја 31. децембра 1966. године.
Завод је поступно проширивао своје просторије подесним разменама и зидањем сопствених просторија. Завод у то време располаже са 4 вежбаонице за студенте, 2 научне лабораторије, лабораторијом за развој практикума, библиотеком, радионицом и разним помоћним просторијама. Вежбаоница је била опремљена са око 400 апаратура за вежбе студената. Оформљено је 25 различитих вежби из свих области физике, а за сваку вежбу израђено је 14-16 апаратура. Вежбе су се радиле индивидуално (1 до 12 студената). Укупан број студената који је у једној години пролазио обуку курса физике је између 2000 и 3000.
Израда скоро свих апаратура и њихово одржавање вршило се у сопственој радионици и развојној лабораторији. Завод је обезбеђивао апаратуре и за научни рад наставног особља Завода, помагао у изради дипломских радова студената, магистарских и докторских теза. Научни и стручни радови чланова Завода најпре се објављују у “Публикацијама Електротехничког факултета”, а од 1968. године Завод издаје сопствене публикације. Наведене публикације до 1974. године излазе под називом “Радови Завода за физику”, а од 1974. године им је дат шири републички значај, те публикације мењају назив у “Техничка физика” и размењују се са око 250 установа у свету.
1970. година – Завод је у заједници са Електротехничким факултетом основао Лабораторију за спектроскопију, која је служила за испитивање плазме лука. Исте године члан Завода др Милан Тодоровић добија Октобарску награду за физику.
1976. година – Завод је формирао Лабораторију за физику јонизованог гаса.
1978. година – Према Закону о удруженом раду, Завод је 6. децембра референдумом усвојио статут који је потврдила Скупштина СР Србије.
1984. година – Скупштина СР Србије је 12. децембра подржала измене и допуне Статута Завода за физику у вези услова за избор директора.
1999. година – У Складу са Законом о Универзитету, Завод се конституише као заједничка установа Факултета оснивача дана 22.03.1999. године, односно доношењем Статута 17.12.1999. године. Завод је регистрован код Окружног суда у Београду под бројем 23-00 регистарског улошка под бр. 503 од 24.12.1973. године.
Од стране Привредног суда у Београду Завод је регистрован решењем ФИ-10144/99 од 31.05.2000. године у регистарском улошку бр. 5-04-00, прилогом бр. 2, уз наведено решење Суда, оснивачи Завода су: Електротехнички факултет, Грађевински факултет, Машински факултет и Технолошко-металуршки факултет Универзитета у Београду.
У важећем Статуту из 2018. године Завод се дефинише као међуфакултетска установа која послује као заједничка установа Технолошко-металуршког факултета, Грађевинског факултета, Машинског факултета и Електротехничког факултета Универзитета у Београду, као факултета оснивача Завода.
